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威尼斯人娱乐网址级威尼斯人平台生长炉CG6000

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  • 最优化的3-6英寸CZ单晶生长方案
  • 领先的全数字控制系统
  • 先进的热场设计
  • 30多年成功运行经验
  • 全球超过1000台安装量


威尼斯人娱乐网址级威尼斯人平台生长炉CG6000
Performance  性能
  Furnace Chamber Diameter 炉腔内径   762 mm (30 in)
  Pull Chamber Doorway Height 副室高度   2108 mm (83 in)
  Throat Diameter 喉口直径   0-508 mm/hr
  Seed Jog Speed (Nominal) 籽晶快速提升速率(最大)   508 mm/min
  Total Crucible Travel 坩锅最大行程   292 mm (11.5 in )
  Crucible Lift Rate 坩锅提升速率   0-254 mm/hr
  Crucible Jog Speed (Nominal) 坩锅快速提升速率(最大)   50.8 mm/min
  Seed Rotation (Reversible) 晶转速率(可逆)   0-50 rpm
  Crucible Rotation (Reversible) 锅转速率(可逆)   0-20 rpm

Silicon Charge Capacity硅投料量
  *Hot Zones available to fit following crucible sizes 热场尺寸取决于坩锅直径
  **Charges can be enhanced with Xtramelt? Feeder 使用 Xtramelt? 二次加料系统可提高装料量
  Crucible Diameter*
  坩埚直径
  Crucible Height*
  坩埚高度
  Charge Size Cold Pack
  冷装投料量
  Enhanced Charge**
  复投装料量
  18.0 in   13.5 in   60 kg   75 kg

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